Полное описание

Журнал
Journal of Vacuum Science and Technology. Ser.A, Vacuum, Surfaces Films. - New York, NY : American Vacuum Society, 1964 - . - Выходит раз в два месяца. - ISSN 0734-2101. - Текст : непосредственный.
СВЕДЕНИЯ ОБ ИЗМЕНЕНИИ ИЗДАНИЯ: Настоящее издание
До 1983г. см.: Journal of Vacuum Science Technology (Шифр W3211)

ГРНТИ
29.03.29
81.29

Аннотация: Статьи по теоретическим и прикладным проблемам использования вакуумных систем и технологий в науке и технике: в физическом эксперименте, вакуумметрии, для исследования и обработки поверхностей, получения и исследования свойств электронных материалов, тонких пленок, особо чистых материалов; в вакуумно-металлургических и вакуумно-химических процессах, плазменных технологиях. Реклама.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8874)

Записей номеров в Каталоге: 50

Год Том Номера 1 2 3 3pt.1 3pt.2 4 4Pt.1 4Pt.2 4pt.1 4pt.2 5 6 1993 11                       1995 13           1996 14           1997 15           1998 16                       1999 17             2000 18           2001 19           2002 20             2003 21