Полное описание

Журнал
Journal of Vacuum Science and Technology. Ser.A, Vacuum, Surfaces Films. - New York, NY : American Vacuum Society, 1964 - . - Выходит раз в два месяца. - ISSN 0734-2101. - Текст : непосредственный.
СВЕДЕНИЯ ОБ ИЗМЕНЕНИИ ИЗДАНИЯ: Настоящее издание
До 1983г. см.: Journal of Vacuum Science Technology (Шифр W3211)
ГРНТИ + 29.03.29 + 81.29

Аннотация: Статьи по теоретическим и прикладным проблемам использования вакуумных систем и технологий в науке и технике: в физическом эксперименте, вакуумметрии, для исследования и обработки поверхностей, получения и исследования свойств электронных материалов, тонких пленок, особо чистых материалов; в вакуумно-металлургических и вакуумно-химических процессах, плазменных технологиях. Реклама.

Записей номеров в Каталоге: 62

Год Том Номера 1 2 3 3pt.1 3pt.2 4 4Pt.1 4Pt.2 4pt.1 4pt.2 5 6 2002 VOL.13,N 3,1995                         VOL.14,N 2,1996                           VOL.14,N 3,1996                         VOL.15,N 3,1997                         1993 11                           1995 13               1996 14               1997 15               1998,VOL.16,N 1                           1998 16                           1999,V0L.17,N 4                           1999,VOL.17,N 4                           1999,VOL.17,N 6                           1999 17                 2000 18               2001 19               2002, VOL.20, N 5                           2002 20                 2003 21