• ВХОД
  •  

    Полное описание

    Журнал
    Vacuum. - Amsterdam : Elsevier Science Publ.. - Выходит ежемесячно. - ISSN 0042-207X. - Текст : непосредственный.
    ГРНТИ + 81.29

    Аннотация: Краткие статьи, сообщения и обзоры последних достижений и разработок в различных областях, в которых производство или управление связано с рабочей средой с давлением ниже одной атмосферы (от фундаментальной науки о вакууме до промышленных систем и процессов): вакуумные насосы и приборы, вакуумные измерения, кинетическая теория, взаимодействие газ-поверхность, анализ поверхности, плазменное и ионное взаимодействие с поверхностью и травление, обработка на наноуровне, ионная имплантация, модификация поверхности и индустрия покрытий, физическое и химическое осаждение из газовой фазы, в т.ч. с ионно-плазменным стимулированием.

    publisher's website

    journal link


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W74)

    Записей номеров в Каталоге: 12
    ГодТомНомера
    12345/678/9/101112
    199344        
    199546