Приложение
для AndroidПолное описание
Журнал
Vacuum. - Amsterdam : Elsevier Science Publ.. - Выходит ежемесячно. - ISSN 0042-207X. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ + 81.29
Аннотация: Краткие статьи, сообщения и обзоры последних достижений и разработок в различных областях, в которых производство или управление связано с рабочей средой с давлением ниже одной атмосферы (от фундаментальной науки о вакууме до промышленных систем и процессов): вакуумные насосы и приборы, вакуумные измерения, кинетическая теория, взаимодействие газ-поверхность, анализ поверхности, плазменное и ионное взаимодействие с поверхностью и травление, обработка на наноуровне, ионная имплантация, модификация поверхности и индустрия покрытий, физическое и химическое осаждение из газовой фазы, в т.ч. с ионно-плазменным стимулированием.
publisher's website
journal link