Полное описание

Мазель, Е. З. Планарная технология кремниевых приборов / Е. З. Мазель, авт. Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1974. - 384 с. : ил. - Библиогр.: с. 368-382. - 4000 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382-047.84

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Пресс, Ф.П.

Полный текст

Полный текст

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д4/20242)

Шифр в сводном ЭК: fb2a3347c645913adfe367d8d96b2c61

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽

Просмотр издания
или
Просмотр издания