Полное описание

Агаркова, И. Н. Современные технологии очистки сточных вод производства СБИС / И.Н. Агаркова, Г.Г. Буцын, Н.В. Лебедева. - Текст : непосредственный // Чистые помещения и технологические среды. - 2009. - № 3-4. - С. 6-11. - Библиогр.: 10 назв.
Аннотация: Разработка современной технологии очистки сточных вод производства кристаллов сверхбольших интегральных микросхем (СБИС). Источники образования и состав сточных вод. Методы очистки, требования к очищенным стокам.
Доп. точки доступа:
Буцын, Г.Г.
Лебедева, Н.В.


Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -601735-657245)

Шифр в сводном ЭК: f9e98328c4ca422a4c7ad1af726d27bc