Полное описание

Образование на поверхности кремния наноструктур, индуцированных адсорбцией кислорода / В.Д.Борман,Ю.Ю.Лебединский,В.В.Россинский,В.И.Троян. - М. : [б. и.], 1995. - 23 c. : ил. - (Препринт / Московский инж.-физ.ин-т ; 027-95). - 60 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76(04)

Рубрики:
Микроэлектроника

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Доп. точки доступа:
Борман, В.Д.
Лебединский, Ю.Ю.
Россинский, В.В.
Троян, В.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/39018/027-95)

Шифр в сводном ЭК: f221c1497f14ca9cb9a62e52bb868adc

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽