Полное описание

Гадына, П. В. Анализ применения мембранных технологий водоподготовки для микро- и наноэлектроники / П. В. Гадына, М. В. Жирков, Е. В. Суханова. - Текст : непосредственный // Технико-экологические проблемы наукоемких производств : межвуз. сб. науч. тр. - М. : МИЭТ, 2010. - С. 62-66. - Библиогр.: 5 назв.
ГРНТИ 70.27.13 + 47.01.84

Аннотация: Водоподготовка для микро- и наноэлектроники имеет большое значение, так как высокочистая вода является важнейшим реагентом, без которого не могут функционировать высокотехнологические производства. Рассмотрена эффективность применения мембранных технологий для микро- и наноэлектроники.
Доп. точки доступа:
Жирков, М.В.
Суханова, Е.В.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20110502 : ЭКО (-20110502)
Свободны: ЭКО (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -329779-700171)

Шифр в сводном ЭК: eee360c7d0c096ab873fd52a492c0a54

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽