Полное описание

Пауткин, В. Е. Разработка технологии формирования кремниевых пьезорезистивных чувствительных элементов микромеханических акселерометров : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.14 / В. Е. Пауткин. - 2014. - 22 с. : ил. - Библиогр.: с. 19-22 (28 назв.). - 100 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
59.31.31	531.768(043)

Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТРЫ -- ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДИАПАЗОН
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар15-1554)

Шифр в сводном ЭК: e5312068391a2d41d5b16e5671ebbc56

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽