Полное описание

Krauser, J. Wasserstoff im MOS-System:Bestimmung der Konzentration,Verteilung und Dynamik des Wasserstoffs mit Hilfe der 15N-Methode / J. Krauser. - Berlin : [s. n.], 1996. - 169 S. : Ill. - (Berichte / Hahn-Meitner-Inst., ISSN 1431-4940 ; B 535). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.137-153

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382(043)

Рубрики:
Полупроводники -- Методы исследования

Кл.слова (ненормированные): ПОЛУПРОВОДНИК -- ПОЛУПРОВОДНИК
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/3812/B 535)

Шифр в сводном ЭК: db29f0f3cda1ec17b6366c9042801aaf

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽