• ВХОД

    •  

    Полное описание

    Nojiri, K. Dry Etching Technology for Semiconductors / K. Nojiri. - Cham : Springer, 2015. - on-line. - URL: https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-319-10295-5. - Загл. с экрана. - ISBN 978-3-319-10295-5. - Текст : электронный.

    ГРНТИ УДК
    47.13.33621.3.049.77-047.84:621.794
    621.315.592:621.794

    Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ

    https://link.springer.com/book/10.1007/978-3-319-10295-5


    Держатели документа:
    Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): ???-713518)

    Шифр в сводном ЭК: d8811a1019b489c7c0b908adec33bcd1



    Заказ фрагмента документа ₽

    Просмотр издания