Полное описание

Анализ морфологии поверхности МЛЭ наноструктур Si/Ge с помощью атомно-силовой микроскопии / Н. А. Торопов, В. А. Новиков, В. В. Кромин, А. П. Коханенко. - Текст : непосредственный // Физика твердого тела : сб. материалов XII Рос. науч. студенч. конф., 12-14 мая 2010 г., Томск. - Томск, 2010. - С. 208-210. - Библиогр.: 4 назв.
ГРНТИ 29.19.15

Кл.слова (ненормированные): кремний -- германий
Аннотация: Создание трехмерных островков германия на поверхности кремния заданных размеров осуществлено методом молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ). С помощью сканирующей зондовой микроскопии исследована морфология поверхности с наноостровками, оценена плотность массива.
Доп. точки доступа:
Торопов, Н.А.
Новиков, В.А.
Кромин, В.В.
Коханенко, А.П.


Имеются экземпляры в отделах: всего -20110227 : ХР (-20110227)
Свободны: ХР (1)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): -253741-876270)

Шифр в сводном ЭК: d35263a328d6c8773023669d13050047

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽