Полное описание

Зебрев, Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие / Г. И. Зебрев. - 4-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 243 с. : ил. - (Нанотехнологии). - URL: https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712973 (дата обращения: 25.04.2024) . - Режим доступа: Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация. - Библиогр.: с. 225-232. - ISBN 978-5-00101-830-8. - текст : электронный.

	УДК
	121.382(075)620.3(075)

	ББК
	32.844.2я73

Кл.слова (ненормированные): УЧЕБНИК ДЛЯ ВЫСШЕЙ ШКОЛЫ
Аннотация: Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».

https://biblioclub.ru/index.php?page=book&id=712973

Держатели документа:
ЭБС Университетская библиотека онлайн : 117342, г. Москва, ул. Обручева, д. 34/63, стр. 3 (Шифр в БД-источнике (BIBLIO): 712973)

Шифр в сводном ЭК: d300ac936bd955bf6ff0d5540398ebf0

Просмотр издания Электронно-библиотечная система "Университетска библиотека ONLINE", требуется авторизация