Полное описание
> Прудник, А. М. Формирование субмикронного рельефа тонких пленок обратной литографией с использованием металлических и оксидных масок : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук :05.27.01 / А. М. Прудник. - Минск, 2002. - 21 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Учреждение образования "Белорус. гос. ун-т информатики и радиоэлектроники". Библиогр.: с.1718 (17 назв.)
ГРНТИ | УДК | |
47.13.35 | 621.3.049.77-047.84:776(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР02-9203)>
Шифр в сводном ЭК: ce312454d4fd5431715dc214dcec14df
Заказ фрагмента документа ₽