Полное описание
> Синтез алмазных пленок и проблемы, связанные с этим синтезом / Ин-т сверхтвердых материалов. - 17 c. : ил. - Япон.яз. - Пер.ст. / Н. Сэтака из журн.: // Сэймицу кикай. - 1985. - Vol. 51, N 8. - P. 1509-1514. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: 10 назв.
ГРНТИ 38.39.17
Рубрики:
Алмазные пленки
Кл.слова (ненормированные): АЛМАЗ КАРБИН -- АЛМАЗОПОДОБНЫЙ УГЛЕРОД -- ИОННО-ЛУЧЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ПЛАЗМА МИКРОВОЛНОВОГО РАЗРЯДА -- ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Доп. точки доступа:
Сэтака, Н.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): 06925002389)>
Шифр в сводном ЭК: bc8dbac9ab2f2821532683988fa155a3
Заказ фрагмента документа ₽