Полное описание

Использование аномального тлеющего разряда для спазмохимической обработки кремния / Г.С.Кириченко,К.Л.Кругляков,С.Н.Павлов,В.М.Слободян. - Киев : [б. и.], 1991. - 23 с. : ил. - (Препринт ; КИЯИ-91-23). - 160 экз. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.002(04)

Рубрики:
Кремний -- Обработка плазменная

Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ -- ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
Доп. точки доступа:
Кириченко, Г.С.
Кругляков, К.Л.
Павлов, С.Н.
Слободян, В.М.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Н/11500/КИЯИ-91-23)

Шифр в сводном ЭК: b6f74d5f5210f36c5ff708b3257f358e

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽