Полное описание

Патюков, С. И. Разработка низкотемпературных, не вносящих радиационные дефекты, процессов осаждения диэлектрических слоев в реакторе с групповой обработкой пластин : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.06 / С. И. Патюков. - М., 1990. - 22 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг. : Моск. ин-т электрон. техники. Библиогр.:с. 20-21(15 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.3.049.771.14.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР90-018416)

Шифр в сводном ЭК: ab9c96a6724ff2e46c9bb3db1ce719f4

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽