Полное описание

Advances in rapid thermal and integrated processing : proc.of the NATO Advanced study inst.on advances in rapid thermal and integrated processing,Acquafredda di Maratea,Italy,July 3-14,1995 / Ed. F. Roozeboom. - Dordrecht [etc.] : Kluwer, 1996. - XII,565 p. p. : ill. - (NATO advanced study institutes series. Ser.E, Applied sciences ; vol.318). - ISBN 0-7923-4011-6. - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце глав.Указ.:с.557-565

ГРНТИ	УДК
47.13.17	621.3.049.771.14.002(063)

Рубрики:
Интегральные схемы большие -- Производство -- Съезды и конференции

Доп. точки доступа:
Roozeboom, F.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/9632/318)

Шифр в сводном ЭК: a94ff251f3eef09b2a45ff598eecf2eb

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽