Полное описание

Жирков, М. В. Разработка методов и средств контроля параметров технологии водоподготовки в производстве изделий микроэлектроники : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.11.13 / М. В. Жирков. - М., 2003. - 25 с. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 23-25 (17 назв.)

ГРНТИ	УДК
75.31.19	628.175:621.38.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-8007)

Шифр в сводном ЭК: a84080686828d6bfda3826f2a1bcac7a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽