Полное описание
>
Прудников, Н. В. Лазерные технологии, материалы и элементная база для микросистемной техники / Н. В. Прудников, М. А. Савельев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Межведомственный центр аналитических исследований в области физики, химии и биологии при президиуме Российской академии наук (МЦАИ РАН). - Москва : МЦАИ РАН, 2020. - 148 с. : ил. - Библиогр.: с. 145-147 (31 назв.). - 50 экз. - ISBN 978-5-4465-2905-6. - Текст (визуальный) : непосредственный.ГРНТИ | УДК | |
47.13.11 | 621-181.4 |
Рубрики:
Микросистемотехника
Кл.слова (ненормированные): ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ С ВЕЩЕСТВОМ -- ИНДУСТРИАЛЬНЫЕ ЛАЗЕРЫ -- ЛАЗЕРНОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- НЕОХЛАЖДАЕМЫЕ ПРИЕМНИКИ -- ОПТИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ -- ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ИСТОЧНИКИ ТОКА -- ФОТОПРИЕМНИКИ
Аннотация: В книге рассмотрены новые эффекты и особенности взаимодействия лазерного излучения с различными материалами, современные способы усиления фемтосекундных лазерных импульсов. Изложены особенности лазерных технологических процессов в микросистемной технике. Представлены исследования по разработке перспективных миниатюрных источников токов и созданию неохлаждаемых приемников на основе принципов волновой микромеханики. Для научных работников, инженеров, студентов, аспирантов, а также широкого круга читателей, интересующихся вопросами использования лазерных технологий в микросистемной технике
Доп. точки доступа:
Савельев, М.А.
Межведомственный центр аналитических исследований в области физики, химии и биологии при президиуме Российской академии наук (Москва)
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-20/83107)>
Шифр в сводном ЭК: a81a77d0b6aa74d9bbe2a82f10e4d88c
Заказ фрагмента документа ₽