Полное описание

Thommes, A. Die galvanische Abscheidung von Eisen-Nickel in LIGA-Mikrostrukturen / A.Thommes,W.Stark,W.Bacher. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - 76 S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 5586). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.73-74

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002
	621-181.4

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство
Миниатюрные изделия -- Производство

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
Stark, W.
Bacher, W.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5586)

Шифр в сводном ЭК: a4abbb68d3d5593a6bf091889d94b1f6

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽