Полное описание

Исхаков, Р. С. Физико-химические основы современных технологий. Материалы для наноэлектроники : учеб. пособие / Р. С. Исхаков, В. С. Жигалов; под общ. ред. В. Ф. Шабанова. - Красноярск : ИПЦ КГТУ, 2006 (Красноярск). - 158 с. : ил. - Библиогр.: с. 151-155 ( 74 назв. ). - 110 экз. - ISBN 5-7636-0814-3. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Краснояр. гос. техн. ун-т

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76.002.3

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы

Доп. точки доступа:
Жигалов, В.С.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-06/32611)

Шифр в сводном ЭК: 9f58315c3175e2510661e4dde8c08f0a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽