Полное описание

Злотникова, И. Я. Теоретическое и экспериментальное исследование процесса термического окисления кремниевых структур : специальность 05.27.01 "Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано-электроника, приборы на квантовых эффектах" : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук / И. Я. Злотникова. - Воронеж, 1995. - 16 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Воронеж.гос.ун-т. Библиогр.: с.16(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.33	621.315.592.9.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР95-6147)

Шифр в сводном ЭК: 9e19455fff8603e5d7eb4ab610277b15

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽