Полное описание
> Kortshagen, U. Kinetic modeling and experimental studies of large-scale low-pressure RF discharges / U.Kortshagen,B.Heil. - Minneapolis(Mn) : [s. n.], 1999. - 33 p. : ill. - (UMSI research report / Univ.of Minnesota ; 99/188). - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.27-33
ГРНТИ | УДК | |
29.27 | 533.93 | |
537.525.7 |
Рубрики:
Плазма -- Кинетика
Высокочастотные разряды
Кл.слова (ненормированные): ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД -- ПЛАЗМА
Доп. точки доступа:
Heil, B.
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17401/99/188)>
Шифр в сводном ЭК: 9d7768512b038ef0599dcc6b49f33fdb
Заказ фрагмента документа ₽