Полное описание

Шенгуров, Д. В. Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:01.04.10 / Д. В. Шенгуров. - Н. Новгород, 1998. - 18 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с. 16-18

ГРНТИ	УДК
47.09.29	621.315.592.3-416(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР00-646)

Шифр в сводном ЭК: 968d3b02a3f1738ba2f6d29a1f803667

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽