Полное описание

Konermann, J. B. Neuartige Derivate der Orthokieselsaure und deren Anwendbarkeit zur Abscheidung oxidischer Schichten in CVD-Prozessen / J. B. Konermann. - K@:oln : [s. n.], 1993. - 126 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.124-126

ГРНТИ	УДК
31.21.21	547.245(043)

Рубрики:
Кремнийорганические соединения

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/18437)

Шифр в сводном ЭК: 9028a80a8c7bcb7aca2ce00f7b45c17f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽