Полное описание

Попо, Р. А. Методология повышения эффективности технологических процессов микроэлектронного производства и надежности изделий микроэлектронной техники на базе спецвоздействий : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.02.22 / Р. А. Попо. - М., 2006. - 32 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-32(42 назв.). - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики (техн. ун-т)

ГРНТИ	УДК
47.13.81	621.3.049.76:658.562(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар06-7043)

Шифр в сводном ЭК: 892925a58e1839f72ea8922670fb9482

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽