Полное описание
> Паутов, И. Ю. Совершенствование вибрационного метода контроля толщины покрытий в процессе их осаждения в вакууме путем создания автоматизированной системы на базе камертонного датчика : автореф. дис. ... канд. техн. наук: 05.13.06 / И. Ю. Паутов. - Рыбинск, 2004. - 16 c. : ил. - Библиогр.: с. 15-16 (11 назв.). - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
55.22.19 | 621.793.1.048.7.08:531.717.5(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар04-15006)>
Шифр в сводном ЭК: 882282f584b2f9a87e873bccfceafdbf
Заказ фрагмента документа ₽