Полное описание

Microelectronics and nanometer structures: processing,measurement, and phenomena : материалы временных коллективов / Ed. G. E. McGuire. - New York : [s. n.], 1998. - 482 p. : ill. - (Journal of vacuum science & technology B, ISSN 0734-211X ; 1998,Vol.16,N 1). - Текст : непосредственный.
Библиогр.в конце статей

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76(063)

Рубрики:
Микроэлектроника -- Съезды и конференции
Микроэлектронные приборы -- Съезды и конференции

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР
Доп. точки доступа:
McGuire, G.E.\ed.\

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): W8873/1998,Vol.16,N 1)

Шифр в сводном ЭК: 7f155709424f09a15ee4a35ea44567e1

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽