Полное описание

Спирин, В. Г. Проектирование и технология тонкопленочных микросборок с топологическими размерами 10-50 мкм / В.Г. Спирин. - Арзамас : АГПИ, 2005. - 146 с. : ил. - Библиогр.: с. 141-146 (86 назв.). - 500 экз. - ISBN 5-86517-253-0. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.59	621.396.69

Рубрики:
Радиодетали

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д9-05/13011)

Шифр в сводном ЭК: 75c69aad3ed9ea6d307b95c3908ac572

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽