Полное описание

Свадковский, И. В. Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эВ : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.06 / И. В. Свадковский. - Минск, 1993. - 20 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с.19-20(12 назв.)

ГРНТИ	УДК
55.22.19	621.793.184(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-4027)

Шифр в сводном ЭК: 747d9843158c896647922b06a20c2a50

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽