Полное описание

Слепцов, В. В. Анизотропные, низкотемпературные, вакуумные, ионно-стимулированные процессы, оборудование и технология для производства ИЭТ, оптики и приборостроения : автореферат диссертации на соискание ученой степени д-ра техн.наук:05.27.06 / В. В. Слепцов. - М., 1992. - 45 с. : ил. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Моск.хим.-технол.ин-т им.Д.И.Менделеева. Библиогр.: с. 39-45(63 назв.).

ГРНТИ	УДК
59.13	681.7.02(043)
47.13	621.384.002(043)
81.37	681.2.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР92-010262)

Шифр в сводном ЭК: 6efba6b1dd9019d9cd517455df678180

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽