Полное описание
> Жигалина, О. М. Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учеб. пособие / О. М. Жигалина. - М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2017. - 121 с. : ил. - (Учебное пособие МГТУ им. Н. Э. Баумана). - Библиогр.: с. 104-108. - 200 экз. - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.09.33 | 621.3.049.76-03 | |
621.315.612-416 |
Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы
Сегнетоэлектрические пленки
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ж2-17/63186)>
Шифр в сводном ЭК: 6b9ad68c1a09a28ea4f31337c29f502f
Заказ фрагмента документа ₽