Полное описание

Процессы микро- и нанотехнологий в производстве устройств электроники и радиофотоники : учебное пособие / П. Ю. Белявский, А. А. Никитин, А. А. Семенов [и др.] ; Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина). - Санкт-Петербург : Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2018. - 58 с. : ил. - (Учебное пособие). - Авт. указ. на обороте тит. л. - Библиогр.: с. 56. - 70 экз. - ISBN 978-5-7629-2285-2. - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
47.13	621.384-047.84
47.33.33	621.37/.38

Рубрики:
Электронные приборы -- Производство
Радиофотоника

Доп. точки доступа:
Белявский, П.Ю.
Никитин, А.А.
Семенов, А.А.
Мыльников, И.Л.
Тумаркин, А.В.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д10-18/60787)

Шифр в сводном ЭК: 6a685b123342b8ab7aef086520293be7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽