Полное описание
> Зырянов, С. М. Модификация нанопористых диэлектрических материалов в плазме и ее послесвечении : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук: 01.04.08 / С. М. Зырянов. - 2010. - 23 с. : ил. - Библиогр.: с. 22-23 . - Текст : непосредственный.
ГРНТИ | УДК | |
47.13.13 | 621.3.049.77-047.84(043) |
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар10-18586)>
Шифр в сводном ЭК: 696844f6a646bd2dd3bc3480240a842d
Заказ фрагмента документа ₽