Полное описание

Сытов, И. П. Моделирование процесса фотостимулированного травления кремния в среде хлора : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.техн.наук:05.27.01 / И. П. Сытов. - Минск, 1993. - 18 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Мин.радиотехн.ин-т. Библиогр.: с.17-18(13 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.315.592.002:621.794(043)
47.09.29

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-0161)

Шифр в сводном ЭК: 65c46b88b4c6f21879b40803ca32ea61

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽