Полное описание

Ludwig, R. H. Plasmapolymerisation- ein Verfahren zur erzeugung dunner schichten : Diss. / R.H.Ludwig. - Aachen, 1989. - 127 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Парал. загл. англ.Библиогр.:с.91-114.

ГРНТИ	УДК
31.25.17	678.02:66.095.267(043)
31.25.19

Рубрики:
Полимеризация плазменная

Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗМЕННАЯ ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): J2/22584)

Шифр в сводном ЭК: 5e84e7f923778563ef3d62b87023235a

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽