Полное описание

Белов, И. А. Моделирование гидромеханических процессов в технологии изготовления полупроводниковых приборов и микросхем / И. А. Белов, В. А. Шеленшкевич, Л. И. Шуб. - Л. : Политехника, 1991. - 288 с. : ил. - Библиогр.:с.283-286 (77 назв.). - 2000 экз. - ISBN 5-7325-0001-4. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.283-286

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.382.002
47.33.31	621.3.049.77.002

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Производство
Интегральные схемы -- Производство
Гидромеханика

Кл.слова (ненормированные): ГИДРОМЕХАНИЧЕСКИХ -- ИЗГОТОВЛЕНИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
Доп. точки доступа:
Шеленшкевич, В.А.
Шуб, Л.И.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Д7-91/91917)

Шифр в сводном ЭК: 5bc1536bb4206194ac3f359dcba56e61

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽