Полное описание

Тупик, В. А. Разработка методов синтеза и обработки наноразмерных пленок : автореф. дис. ... д-ра техн. наук: 05.16.09 / В. А. Тупик. - СПб., 2011. - 35 с. : ил. - Библиогр.: с. 30-35 (44 назв.). - Текст : непосредственный.

ГРНТИ	УДК
53.49.01	669.017:539.216.2-022.532(043)

Кл.слова (ненормированные): ИОННОЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- МЕДНЫЕ ПЛЕНКИ -- МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ НАНОРАЗМЕРНЫЕ -- МЕТОДЫ СИНТЕЗА -- НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ТИТАНОВЫЕ ПЛЕНКИ -- ФРАКТАЛЬНАЯ СТРУКТУРА -- ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар11-13927)

Шифр в сводном ЭК: 57dd10ea7d26f235644f99cbeadfab8f

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽