Полное описание

Шенгуров, В. Г. Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния, стимулированная ионным облучением : автореф. дис. ... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / В. Г. Шенгуров. - Н. Новгород, 2002. - 45 с. : ил. - Текст : непосредственный.
Библиогр.: с. 40-45

ГРНТИ	УДК
47.13.33	621.315.592.9.002(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): Ар03-6362)

Шифр в сводном ЭК: 3f94038c32ff84c6ae1c924056bd10c5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽