Полное описание

Kessler, F. VUV-Photo-CVD : Untesuchungen zur Gasphasenabscheidung amorpher Halbleiter mit Hilfe einer externen VUV-QuelleDiss. / F.Kessler. - Stuttgart, 1994. - 121 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.116-121

ГРНТИ	УДК
29.19.31	537.311.322:539.23(043)

Рубрики:
Полупроводниковые пленки -- Производство

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/18766)

Шифр в сводном ЭК: 328de3dbf58a535bfff32410416aa50c

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽