Полное описание

Шептунов, О. А. Исследование диэлектрической системы "неоднородная пленка- однородная подложка" эллипсометрическим методом : автореферат диссертации на соискание ученой степени канд.физ-мат.наук:01.04.01 / О. А. Шептунов. - СПб., 1993. - 15 с. - Текст : непосредственный.
В надзаг.: Рос.АН, Ин-т аналит. приборостроения. Библиогр.: с.14-15(7назв.)

ГРНТИ	УДК
45.09.37	621.315.61-416(043)

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): АР94-1630)

Шифр в сводном ЭК: 2c39583775d59f6e723710aa3fb67db5

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽