Полное описание

Материалы и химические процессы в технологии микроэлектроники / В.З.Петрова,Н.А.Ханова,В.И.Гребенькова,Р.Ф.Шутова. - М. : [б. и.], 1993. - 196 c. : ил. - (Учебное пособие по курсу "Химия в микроэлектронике" / Моск.гос.ин-т электрон. техники(Техн. ун-т) ; ч.3). - 200 экз. - ISBN 5-7256-0256-7. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.194 (14 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.13.11	621.3.049.76.002

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Производство

Доп. точки доступа:
Петрова, В.З.
Ханова, Н.А.
Гребенькова, В.И.
Шутова, Р.Ф.
Московский ин-т электронной техники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/51906/3)

Шифр в сводном ЭК: 2c0c71e06219f9c54e889b04edec4f85

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽