Полное описание

Обзор свойств химических элементов и их соединений / В.З.Петрова,Н.А.Ханова,В.И.Гребенькова,Р.Ф.Шутова. - М. : [б. и.], 1993. - 108 c. : ил. - (Учебное пособие по курсу "Химия в микроэлектронике" / Моск.гос.ин-т электрон. техники(Техн. ун-т) ; ч.2). - 200 экз. - ISBN 5-7256-0254-0. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:c.107 (9 назв.)

ГРНТИ	УДК
47.09	621.3.049.76.002.3

Рубрики:
Микроэлектронные приборы -- Материалы

Доп. точки доступа:
Петрова, В.З.
Ханова, Н.А.
Гребенькова, В.И.
Шутова, Р.Ф.
Московский ин-т электронной техники

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): М/51906/2)

Шифр в сводном ЭК: 24179796de3203eb4c27793e8e65f8a7

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽