Полное описание

Berechnung des Verformungsverhaltens einer Mikrobiegevorrichtung / W.Jansohn,P.Piesch,T.J.Reinke,C.Tsakmakis. - Karlsruhe : [s. n.], 1995. - III,60 S. S. : Ill. - (Wissenschaftliche Berichte / FZKA ; 5527). - Текст : непосредственный.
Рез.англ.Библиогр.:с.53-54

ГРНТИ	УДК
47.33.37	621.3.049.76
	621-181.4

Рубрики:
Микроэлектронные приборы
Миниатюрные изделия

Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРИБОР -- МИНИАТЮРНОЕ ИЗДЕЛИЕ
Доп. точки доступа:
Jansohn, W.
Piesch, P.
Reinke, T.J.
Tsakmakis, C.

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): R/17669/5527)

Шифр в сводном ЭК: 1bac46f6af4a8740a95ee57ae2f8d5cd

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽