Полное описание

Krause, J. Entwicklung und Verifikation einer Methode zur akustomikroskopischen Schichtdickenmessung an Mehrschichtsystemen : Diss. / J.Krause. - Hannover, 1992. - 65 S. : Ill. - Текст : непосредственный.
Библиогр.:с.48-50

ГРНТИ	УДК
47.33	621.382.002:658.562(043)

Рубрики:
Полупроводниковые приборы -- Технический контроль

Держатели документа:
Государственная публичная научно-техническая библиотека России : 123298, г. Москва, ул. 3-я Хорошевская, д. 17 (Шифр в БД-источнике (KATBW): G2/17621)

Шифр в сводном ЭК: 0f4054dd9101d0cea0c9060c6606609d

Заказать издание
Заказ фрагмента документа ₽