Microcircuit engineering 91 : Proc.of the intern.conf.on microlithography,Sept.17-19,1991,Rome / Ed.: A. Tucciarone, A. Paoletti, 1992. - XVII,582 p. p. - Текст : непосредственный.
Electron scattering in microstructure processes / G.Messina,A.Paoletti,S.Santangelo,A.Tucciarone, 1992. - 57 p. - Текст : непосредственный.