Bechtold T. Fast simulation of electro-thermal mems : efficient dynamic compact models / T. Bechtold, J. G. Korvink, E. B. Rudnyi, 2007 r=on-line. - Текст : электронный.
MEMS: a practical guide to design, analysis, and applications / ed. J. G. Korvink, O. Paul, 2006 r=on-line. - Текст : электронный.