Ярышевский М.А. Исследование и разработка интегральных преобразователей влажности для контроля технологических сред микроэлектроники : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. техн. наук: 05.27.01 / М. А. Ярышевский, 1991. - 23 с. - Текст : непосредственный.