Шенгуров Д.В. Структура и электрические свойства легированных пленок поликристаллического кремния, полученных методом молекулярно-лучевого осаждения : Автореферат диссертации на соискание ученой степени канд. физ.-мат.наук:01.04.10 / Д. В. Шенгуров, 1998. - 18 с. - Текст : непосредственный.